供应RTP快速退火炉

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供应RTP快速退火炉

供应RTP快速退火炉-郑州成越科学仪器有限公司-供应RTP快速退火炉

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公　司：郑州成越科学仪器有限公司

发布时间：2014年02月24日

有效期：2014年08月26日

联系人：王倩女士

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企业信息

王倩女士 (销售)

联系时，请说是在企业录看到的，谢谢！

电　　话： 0371-55199322 传　　真： 0371-86036875 手　　机： 18937183714 在线联系：地　　址：中国河南郑州市郑州市高新技术开发区翠竹街6号邮　　编： 450000
公司主页：	http://zzcyky.qy6.com(加入收藏)

详细说明

    RTP快速退火炉的详细描述：

该RTP快速退火炉采用：

   ■多重灯管设计以保证温度均匀
   ■ 实时闭环温度控制方式
   ■ 实时灯丝电流监测以保证工艺稳定可靠性
   ■ 安全监测，包括热偶测温检测、过热检测、灯丝电流检测
   ■ 用户操作界面，使用非常简便
   ■ 软件全自动控制工艺过程，操作简单，包括用户分级使用权限管理
   ■ 菜单编辑、工艺数据记录/查找、报警/报错、用户状态等功能

RTP快速退火炉的主要技术参数如下
加热元件：卤素电极；
电极数量：12支；
整机功率：7.2KW；
升温速率：200℃/Second；
降温速率：30秒(1000℃
→ 400℃)；
*高温度：1100℃；
温度精度：+/-
1℃；
*大样品尺寸：4英寸；
气氛环境：真空、气体（氮气、氩气、氧气）、空气；
真空系统：可根据实际需要选配无油机型泵或者分子泵

应用领域：
-快速热退火
-
快速热氧化
- 快速热氮化
- 硅化
- 扩散
- 化合物半导体退火
- 离子注入后退火
- 电极合金化
-
晶向化和坚化
- 合金熔点分析;
- 薄膜沉积;  等等…

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