品质特征
u 高精度大理石底座 立柱及工作台。
u 台湾上银精密直线导轨，高稳定性、高精度及高耐用性。
u 美国TEO彩色工业级600TV线高清CCD。
u 可程控三杯八区LED表面光，直轴轮廓光（可选配同轴光）。
u 精密光学尺0.001mm。
u 手动变倍卡位镜头，变倍后不需要校正
u 自主研发功能强大的自动测量软件，可手动编程测量。
技术规格
D型：Z轴电动电脑控制 可以自动对焦 测量高度，深度，平面度 T型：选配接触测头组
仪器型号
QS3020 QS4030 QS5040 QS6050 QS7060 QS8070
仪器参数
测
量
范
围
（mm） X 300 400 500 600 700 800
Y 200 300 400 500 600 700
Z 150 150 150 150 150 150
工
作
台
（mm） 大理石台面 570*355 670*460 750*560 870*650 990*760 1120*860
玻璃台面 354*254 459*359 550*440 650*540 750*640 850*740
承重/大理石台面 50kg/150kg 50kg/150kg 50kg/150kg 50kg/150kg 50kg/150kg 50kg/150kg
影
像
及
测
量
系
统 Z轴 (D型机) 全电脑控制，可自动对焦，测量高度，深度，平面度
CCD 高分辨率彩色摄像机600TV线
变焦物镜 收到变倍卡位镜头0.7－4.5X
视频放大倍率 30－230X
工作距离 82mm
显示分辨率 0.0001mm
重复性 1.5μm
线性精度(μm) XYZ轴≦(2+L/200)um,Z轴≦(5+L/200)um |
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