2900DX3表面粗糙度 轮廓形状测量机
*新的技术一线性马达 高速、低振动、高精度的测量
采用线性马达下一代驱动部的开发(现正申请专利): 具有世界*高水平的测量速度以及
低振动性，能够进行稳定的高倍率测量。线性马达为非接触驱动，构造简单(无进给丝
杆、齿轮箱)，因此不会产生振动，可以长期稳定运行。
·大幅度提高了生产效率的高速测量: 粗糙度测量*大3mm/s、波纹度测量*大20mm/
s、移动速度60mm/s取得了前所未有的惊人速度。可自动进行从利用演示、回放功能
的测量到利用数据粘贴制作检查成绩书等一系列的作业，测量效率提高了5~10倍(与本
公司旧机型相比)。
·节省空间设计: 采用了令人耳一新的全新设计，占地面积削减了约25%(与本公司旧机
型相比)。设置恒温室等时，有降低费用的效果。
·装载了新开发的高性能小型传感器(粗糙度) : 装载了新开发的传感器，其设计小巧，适
用于高倍率、大范围的测量。外径为14mm，测量范围围达1000mm,测量倍率为50万倍。
·精度更上了一层楼：可以测量以前不能测量的工件(轮廓): 测量精度2.5μm(测量范围
5mm)足以用来测量模具等精密零部件。测量精度大幅度提高，可以测量以前用高级机
型才能测量的工件，大大地拓宽了其用途。
·对通用零部件的轮廓度评价简便(轮廓) : 对以往用投影机、工具显微镜进行评价的零部
件轮廓度可以在短时间内得出精确的数据。而且测量结果可以直接作为检查成绩书使用。
东京精密公司独特的先进功能(粗糙度/轮廓):
·自动要素判定功能(AI功能)：可自动判定点、直线、圆等要素，不需操作者指定
·尺寸显示功能：可在测量图上显示参数、几何偏差等实测值。
·自动凸面加工功能：用于自动检测出工件的*大值或*小值。
2900DX表面粗糙度?轮廓廓形状测量机
*新的技术一线性马达 高速、低振动、高精度的测量
型号 SURFCOM 2900DX3/SD3
SURFCOM 1500DX/SD3 CONTOURECORD 2700DX3/SD3
表面粗糙度评价 轮廓形状评价
量程 Z轴 1000μm 50mm
X轴 100mm 100mm
精度 Z轴指示精度（纵方向） — ±（0.8+|2H|/100）μm
测量分辨率 1000μm/0.01μm~6.4μm/0.0001μm 0.025μm/50mm
X轴指示精度（横方向） — ±（1+L/100）μm L:测量长度（mm）
测量分辨率 100mm/0.04μm或32.000点 0.016μ
直线度 （0.05+1.0L/1000）μm L=测量长度（mm） 1μm/100mm
传感器方法 Z轴（纵方向） 差动变压器 光栅尺
X轴（横方向） 光栅尺 光栅尺
速度 立柱上下移动速度（Z轴） 3—10mm/s
测量速度（X轴） （粗糙度）0.03—3mm/s;（波纹度）0.03—20mm/s 0.03-20mm/s
移动速度（X轴） 0.03—60mm/s
传感器 测针 交换式 交换式
测量力 0.75mN 30mN以下
测针半径 2μmR, 60℃圆锥 25μmR, 24℃圆锥
测针材质 金刚石 超硬金钢石
测量方向 向右 左右两方向
测量姿势 — 上下两方向，*大跟踪角度77℃
要素 电压、功率 单项AC220V±10% 50/60Hz、670VA
尺寸（WXDXH） DX3-12:1250（W）X850（D）X1500（H）mm、约225Kg、SD3-12:1500（W）X600（D）X1500（H）mm、约125Kg
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