供应单晶腐蚀通风柜

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供应单晶腐蚀通风柜

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公　司：苏州华科晋半导体设备技术有限公司

发布时间：2011年07月05日

有效期：2012年01月04日

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邵树宝先生 (经理)

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详细说明

单晶腐蚀通风柜
适用于2″~8″硅片的腐蚀1．本设备为柜体式腐蚀机，整台设备均采用进口件。2．基本材质：箱体材质：德国磁白色聚丙烯（PP）；门板材质：德国透明聚氯乙烯（PVC）；腐蚀槽材质：德国自然色聚偏二氟乙烯（PVDF）；清洗槽材质：德国自然色聚丙烯板（NPP）；3．本设备的腐蚀槽和清洗槽间的转换由进口SEW驱动，以迅速实现两槽之间的硅片转换。4．腐蚀槽配有美国聚四氟乙烯加热器、虹吸上排、传感器。5．清洗槽配有溢流装置，和N2鼓泡装置。6．整机外型美观、实用。
技术特点
※ 可根据用户工艺要求配置。
※ 清洗槽*高加热温度可达200℃。
※ 快速排放冲洗槽排放，冲洗次数可设置。
※ 槽体结构可选单片盒，或双片盒结构。
※ 槽内传输有手动、自动方式可选。
※ 可选配超声清洗，或兆声清洗功能。
※ 可选配液体循环系统。
※ 具有故障提示，报警等功能。

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