FX系列惰性气体纯化器的原理是利用合金吸附剂能与氧气、氮气、水、二氧化碳和烃类等杂质反应生成稳定化合物或固溶体的性质来把氩气、氦气、氖气、氙气等惰性气体中的上述杂质除去，从而达到纯化之目的，净化后得到的高纯气体可广泛用于半导体、电子、冶金、锂电池制造及直读光谱分析和辉光光谱分析等产业部门和科学研究中。
产品特点
⑴净化程度深，不仅能除去O2等较活泼的杂质，而且还可以除去N2等惰性杂质，这是一般净化机办不到的；
⑵本纯化器为双塔结构，一组工作，另一组备用，故一台能顶两台单式纯化器使用；
⑶工作温度较低，能耗少。
本系列净化机配置有预净化模块，在合金吸附塔之前已经除去了较活波的杂质，故极大的延长了合金吸附塔的使用寿命。
FX系列惰性气体纯化器技术参数表
设备名称
设备型号
工作方式
再生方式
备 注
惰性气体纯化器
FX□-C
半自动
半自动
□选填Ar、He、？？
FX□-Z
自动
自动
□选填Ar、He
原气要求
纯 度
≥99.99%一般瓶装惰性气体
杂质要求
O2≤200PPm, H2O≤1000PPm，N2≤100PPm
输出纯气
纯 度
≥99.9998%
杂质含量
O2≤0.5PPm；N2≤1.0PPm；H2O≤1PPm(即露点≤－76℃)；
CO+CO2≤0.1PPm；尘埃粒子数（≥0.3μm）3-5个／升
工作压力
0～1.0MPa
处理气量
1～6Nm3/h
备 注
可根据用户要求 |
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