Novec™ 7200工业用化学液
• 清洁用的化学液
Novec ™ 7200的沸点为76°C，其溶解力适用于气相去污、湿式清洁和晶圆传送盒FOUP(Front Opening Unified Pod)的净化。此化学液能的低表面张力，可清洁轻型的脏污，像是微颗粒物质、氟素油、少量的油污和氟素高分子。Novec ™ 7200也可以跟其它溶剂搭配，用于清洁重脏污。 Novec ™ 7200不会破坏臭氧层(ODP值＝零)，且全球暖化潜值低 (GWP＝55)，大气存留时间短（ALT＝0.77年）。且不被列为挥发性有机化合物(volatile organic compound ,VOC)。Novec ™ 7200 是被美国环境保护局认同的显著新替代方案（U.S. EPA's Significant New Alternatives Policy (SNAP) program）。
• 沉积用的溶剂
Novec ™ 7200其低黏稠度及低表面张力的特性，提供了此化学液高润湿性与易流动的性能，其产品表现与PF-5060DL很类似。能有效的分解全氟聚醚（PFPE）润滑剂。 Novec ™ 7200 无毒性，不会破坏臭氧层(ODP值＝零)，且全球暖化潜值低 (GWP＝55)，大气存留时间短（ALT＝0.77年）。 Novec ™ 7200具有较高的沸点(76°C)，可减少在气相去污中，蒸气的损失。较低密度可减少在润滑机台上容积固定时的添加量。
• 热传导的化学液
Novec ™ 7200的液态范围很寛广，温度从 -138°C到76°C，可广泛的适用于一般的工业。特别适用于热传导的制程。 Novec ™ 7200毒性低，不会破坏臭氧层(ODP值＝零)，且全球暖化潜值低 (GWP＝55 )，大气存留时间短（ALT＝0.77年）。比 PFC 更环保。 |
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