供应卧式6寸两管退火炉

手机站

您当前位置是：商业机会 >> 机械及行业设备 >> 电子产品设备 >> 供应卧式6寸两管退火炉

供应卧式6寸两管退火炉

供应卧式6寸两管退火炉-青岛晨立电子有限公司-供应卧式6寸两管退火炉

点此浏览大图

公　司：青岛晨立电子有限公司

发布时间：2024年05月14日

有效期：2024年11月13日

联系人：姜经理先生

加为商友

留言询价

联系信息

企业信息

姜经理先生 (销售)

联系时，请说是在企业录看到的，谢谢！

电　　话： 0532-88533525 传　　真： 0532-67720618 手　　机： 13869885308 在线联系：地　　址：中国山东即墨市马山东路陈家河工业园邮　　编： 266200
公司主页：	http://chenlidianzi.qy6.com(加入收藏)

详细说明

卧式6寸两管退火炉供大规模集成电路、MEMS 生产线用做6"硅片的合金、氧化、退火、烧结、扩散等工艺使用。同时也可下沉工艺，完成4寸wafer 的相应工艺。
一、设备结构:
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圆形6寸片
3、工艺布局:满足客户工艺要求
4、自动化程度:工控机控制系统自动控制工艺流程
5、送取片方式:手动进出舟。
6、外形:主机1台，主机架为卧式两管。
二、主要技术参数:
1、加热炉管有效口径:满足6英寸硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。
2、工作温度范围:上管:600~1400℃
          下管:200~500℃
3、恒温区长度及精度:600mm，
    上管:800-1400℃.±0.2℃/24h
    下管:200-500℃.±0.2℃/24h
4、控制方式:由工控机统一管理工艺
5、气路设置:每管两路气体:氮气100L/min.氩气100L/min。均采用MFC自动控制流量大小。

免责声明：以上所展示的信息由会员自行提供，内容的真实性、准确性和合法性由发布会员负责，www.qy6.com对此不承担任何责任。如有侵犯您的权益，请来信通知删除。

该公司其他商业信息

1 直接到第页

共 26 条信息，当前显示第 1 - 26 条，共 1 页

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 ..

联系人：姜经理电话：0532-88533525