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上海伯东 氦质谱检漏仪光刻机检漏 上海伯东 氦质谱检漏仪光刻机检漏-伯东企业(上海)有限公司-上海伯东 氦质谱检漏仪光刻机检漏

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公 司: 伯东企业(上海)有限公司
发布时间:2023年02月09日
有 效 期:2023年08月08日
联系人:张婷婷 女士   加为商友
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张婷婷 女士 (销售工程师)
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传  真: 021-50461490
手  机: 13918837267
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地  址: 中国上海浦东新区上海市外高桥保税区希雅路33号17号楼B座3层
邮  编: 200131
公司主页: http://hakuto.qy6.com(加入收藏)
公 司:伯东企业(上海)有限公司

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详细说明

    因产品配置不同,价格货期需要电议,图片仅供参考,一切以实际成交合同为准。
氦质谱检漏仪光刻机检漏
上海伯东客户日本某生产半导体用光刻机公司, 光刻机真空度需要达到 1x10-11 pa 的超高真空, 因为设备整体较大, 需要对构成光刻机的真空相关部件进行检漏且要求清洁无油, 满足无尘室使用要求, 为了方便进行快速检漏, 采购伯东 Pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310.

光刻机检漏方法: 采用真空模式检漏, 漏率值设定为 1x10-11pa m3/s.
1. 通过波纹管与光刻机真空系统连接
2. 使用喷枪, 喷扫管路, 腔体焊缝, 接头等部位, 如果存在超过设定漏率值的狭缝, 检漏仪会时时发出声光报警, 同时在屏幕上显示漏率值.

鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解光刻机检漏, 请联络上海伯东邓女士,分机13


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