伯东企业（上海）有限公司作为德国 Pfeiffer 真空设备, 美国 inTEST 高低温冲击热流仪, 美国 KRi 离子源, 美国 HVA 高真空闸阀, 等国际知名进口真空品牌的指定代理商, 参展 SemiCon China 2023 上海半导体展！
上海伯东凭借多年真空经验, 在提供合适的产品同时更为您提供各类真空工艺的解决方案, 协助您优化工艺过程, 提高生产效率! 上海伯东期待您的莅临！
【参展时间】: 2023年6月29-7月1日
【地点】: 上海新国际博览中心
【伯东展位】: E3号馆, 3369 位置
上海伯东展位号 E3369
上海伯东
在现场, 我们为您详解适用于半导体行业的各类产品！
德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 390
专为半导体, 镀膜行业研发
完全符合 Semi S2 标准
大抽速, 干式, 方便移动
氦质谱检漏仪 ASM390
德国 Pfeiffer 大抽速涡轮分子泵 HiPace 1200-2800 IT
高抽速, 高气体吞吐量
对工艺沉积的抵抗力强
提供耐腐蚀型号
普发分子泵
美国 KRi 大口径射频离子源
3层栅极设计, 栅极口径 38cm
提供离子动能 100-1200eV 宽束离子束, *大离子束流 > 1000mA
满足 300 mm (12英寸)晶圆刻蚀
适用于离子刻蚀, 溅射沉积
美国 KRi 离子源
美国 inTEST 高低温冲击热流仪 ATS-710E
温度范围 °C: -75至+225 50Hz
防静电设计, 自动除霜
支持 Ethernet, IEEE-488, RS232
高低温冲击热流仪
美国 Thermonics Process Chillers 超低温冰水机
提供 -80°C 低温冰水机和 -120°C 超低温冰水机
用于冷却工艺过程中的气体和液体
适用于半导体前端和后端各类工艺冷却
thermonics 超低温冷水机
美国 HVA 超高真空闸阀 11000 系列
口径: DN 16 - 800 mm
极限压力: 高真空 1x10-9 mbar; 超高真空 1x10-10 mbar
6寸, 8寸 真空插板阀广泛应用于半导 |
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