LED无尘车间生产环境要求：
洁净室的空气洁净度等级以及洁净室形式应根据生产工艺对生产环境的要求确定。
当出现下列情况之一时，空气净化调节系统宜分开设置：
1 生产工艺中散发的物质对其他工序的产品质量及人员安全卫生有影响；
2 温湿度基数和允许波动范围差别大的洁净室；
3 净化空调系统和一般空调系统；
4 洁净室内工艺设备发热、散湿量相差悬殊的洁净室；
5 系统风量过大的净化空调系统。
洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备和辅助设备，均应设局部排风装置，排风罩宜为密闭式。
排风系统的设计应符合下列规定：
1 金属有机化合物化学气相沉积设备的尾气应设就地处理装置；
2 酸、碱排风应独立设置系统，风机的电机应按一级负荷供电；
3 工艺设备的排风系统应设置备用风机；
4 有冷凝液产生的酸、碱排风系统风管宜设置坡度和排液口，且风管系统应采取防液体渗漏措施；
5 金属有机化合物化学气相沉积设备的排风系统应采取防火、防爆措施；
6 酸、碱、硅烷排风系统的风管不应穿越防火墙或通风、空气调节机房的隔墙和楼板，当必须穿越时，不得设置熔片式防火阀；
7 酸、碱排风系统的风机应设在废气处理设备的下风侧；
8 工艺设备的排风温度高于60℃时，排风管应设保温措施；
9 工艺设备局部排风系统的室外风管应根据当地气象条件设置防结露保温措施；
10 洁净室的排风系统应设置防止室外气流倒灌的措施。
换鞋间应设置不低于10次／h的全室排风系统，排风口宜设置在下部；换鞋柜宜设置局部排风措施；一次更衣间宜设置不低于5次／h的全室排风系统。
净化空气调节系统的新风应进行集中处理，新风处理机组的设置应符合下列规定：
1 送风机应采取自动调速措施；
2 空气宜经过粗效、中效、高效过滤器三级处理；
3 新风处理机组应有良好的气密性，在工作压力下的漏风率不得大于1％。
光刻间净化空气调节系统的循环风宜采用风机过滤器机组和干冷却盘管处理，其他洁净室净化空气调节系统的循环风宜采用循环空气处理机组处理。
金属有机化合物化学气相沉积间的净化空气调节系统应独立设置。
循环空气处理机组宜采用干冷却方式处理空气。
循环空气处理机组的风机应采取自动调速措施。
洁净生产层净高应按照生产设备和物料运输设备尺寸、微环 |
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