供应硅片显影设备

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公　司：北京华林伟业电镀器材有限公司

发布时间：2014年11月25日

有效期：2015年05月27日

联系人：张健先生

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张健先生 (销售主管)

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电　　话： 010-69592203-8025 传　　真： 010-69595208 手　　机： 13321111993 在线联系：地　　址：中国北京通州区北京市通州区宋庄镇小堡工业区邮　　编： 101118
公司主页：	http://hlwt111.qy6.com(加入收藏)

详细说明

半导体显影清洗机　　1．概述：本设备可用于半导体工艺中对2″~8″硅片进行显影和定影，该产品技术先进、一致性强，适用于规模生产。　　 2．整台设备材料均为进口。　　 3．本设备为双排槽构成，每排7槽，各设一套机械手，两排可独立同时完成相应的工序。　　 4．本设备除装片和取片需人工外，其余工艺动作均可自动完成。　　 5．每槽装片能力：50片/批（2花篮，25片/花篮）。　　 6．工作区洁净度：100级。　　 7．槽间工艺转换时间：Tm ax≤3.5S

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