供应硅片清洗机

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公　司：北京华林伟业电镀器材有限公司

发布时间：2014年11月25日

有效期：2015年05月27日

联系人：张健先生

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张健先生 (销售主管)

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电　　话： 010-69592203-8025 传　　真： 010-69595208 手　　机： 13321111993 在线联系：地　　址：中国北京通州区北京市通州区宋庄镇小堡工业区邮　　编： 101118
公司主页：	http://hlwt111.qy6.com(加入收藏)

详细说明

全自动硅片清洗机（非标设备） (1) 本设备用于2″—8″硅片的规模生产清洗。 (2) 整机采用德国进口磁白色PP板焊接而成，本机每槽可同时清洗2个花篮。 (3) 本设备由机架部分、整机部分、槽体部分、伺服系统、及机械传动部分、电气控制系统构成。 ⑷ 工艺过程全自动，机械手在槽间转换靠PLC来控制，美国进口导轨和机械手来满足工艺时序。 (5) 除装片和取片需人工外，其余工艺动作均由机械手来实现，适用于连续批量生产。 (6) 机台内设高效过滤器，满足净化工作区工作（1000级~100级，10级为特级）。 (7) 电控部分：人机界面为触摸屏，有安全保护故障代码，故障报警，工艺时序号，方便操作、易于维护。

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