Model ESR系列
抽气速度：1,300 – 30,000L/min ESR系列是新研发的应用广泛的罗杆式干式真空泵，对于L/L，SEM等较轻负荷的制程和腐蚀性制程都可以使用。
性能上具有 排气速度可调节，高通信处理功能，从而适应了省功耗，占地面积小，重量轻的工艺要求。
特点:
● *适合用于轻负荷的制程及腐蚀性气体制程
● 较低的运行成本，省功耗，*大可节省60%（与本公司Model AA系列相比较）
● 无需N2来做轴密封（Model ESR20N）
● 小型化，重量轻，*大减少40%（ 与本公司Model AA系列相比较）
● 增加泵的转速控制 ● 高性能的通信机能
● 采用高度控制泵的运转方式
Model ESA系列
抽气速度：30,000L/min 适合轻制程 Model ESA系列是新研发的独特干式真空泵，具有优 越的高速排气性能，从而适应了LCD溅射制膜 装置，真空干燥制程，大型 L/L等工艺要求。并拥有高附加价值，对应气体 负荷自动控制转速，高通信功能等。
特点:
● *适用于大型真空反应室的高速排气
● 具有高性能通信机能
● 转速自动调节功能
● 采用高度控制泵运转方式
● 采用大口径转子，设计上完美小型
● 不产生真空泵大型化所引起的搬运性能降低
● 也可用于有机溶剂排气上用的特别规格
以上产品主要适用于半导体行业，真空镀膜设备，太阳能光伏PECVD设备等相关行业 |
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