硅片倒片机
品牌：《南轩电子》本公司可以设计制造半导体清洗工艺过程中,清洗硅片时的倒片机,该设备可在倒（槽间倒片用）二篮、三篮、四篮、多篮等硅片时使用。设备大大提高了硅片清洗效率。
四槽自动硅晶清洗设备
品牌《南轩电子》：◆ 可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。 ◆ 功能槽包括：加热酸缸、HF腐蚀、BHF（HF恒温缓冲腐蚀）、超声清洗槽、恒温水浴、QDR（快排冲水）、电炉等。 ◆ 清洗功能槽模块化，各部分有独立的控制单元，可随意组合。 ◆ 关键件采用进口部件，提高设备的可靠性及使用寿命。 ◆ 采用进口耐腐蚀PP板材，防酸、防腐，有效避免酸液的侵蚀。 ◆ 控制系统的元器件具备防腐、防潮功能，确保安全的工作环境。 ◆ 结构紧凑，占地面积小，造型美观、实用。 ◆ 操作符合人机工程原理，具有良好的操作界面，使用方便、灵活。 ◆ 闭式清洗，有效改善工作环境，保障操作人员安全。划片后清
品牌：《南轩电子》清洗机设备主要功能部件有：箱体部分、骨架、酸泡槽、DI水清洗槽、超声/兆声槽、石英管滚动系统、喷淋系统、机械手部分、贮藏柜、排风装置、给（排）水管路、抽风系统和电气控制系统等。采用全自动控制式,通过触摸屏设定参数来选择清洗工艺,操作便捷. |
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