低温等离子净化设备的运行其实是非常的简单的，在一定的程度上能够承受废气浓度的变化，设备技术上面的变化是可以被接受的。
低温等离子净化设备根据被处理风量的不同数量不同，微波由于它的频率相对比较高，在纳秒的时间内有效作用于被处理空间，由于微波的功率相对较小，因此在激发能力上也就是说电子的获能跃迁能力上有限，本设计只是把微波作为初频激发源，在处理过程中作为一种预激发能。由于微波的预激功能，极大的提高等离子体区，极板区的激发能力和处理效果，由于微波技术的运用，本工艺在同类设备的比较中显得设备精炼而效果优越。等离子体技术工艺简单。吸附法要考虑吸附剂的定期更换，脱附时还有可能造成二次污染；燃烧法需要很高的操作温度；生物法要严格控制pH值、温度和湿度等条件，以适合微生物的生长。而低温等离子体技术则较好的克服了以上技术的不足，反应条件为常温常压，反应器结构简单，低温等离子净化设备并可同时消除混合污染物，不会产生二次污染等。
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