氧气的工业用途的整套系统由以下部件组成：压缩空气净化组件、空气储罐、氧氮分离装置、氧气缓冲罐；如需灌钢瓶，末端加装氧气增压机及充瓶装置。
变压吸附制氧机是以沸石分子筛为吸附剂，利用加压吸附，降压解吸的原理从空气中吸附和释放氧气，从而分离出氧气的自动化设备。沸石分子筛是一种经过特殊的孔型处理工艺加工而成的，表面和内部布满微孔的球形颗粒状吸附剂，呈白色。其孔型特性使其能够实现O2、N2的动力学分离。沸石分子筛对O2、N2的分离作用是基于这两种气体的动力学直径的微小差别，N2分子在沸石分子筛的微孔中有较快的扩散速率，O2分子扩散速率较慢。压缩空气中的水和CO2的扩散同氮相差不大。*终从吸附塔富集出来的是氧气分子。
低温空分制氧设备工作原理
空气从大气吸入，经过滤器过滤后，进入空气压缩机，经逐级压缩冷却后，进入空气预冷系统进行预冷，并通过水分离器分离出空气中的游离水，然后进入纯化系统清除空气中的水份、二氧化碳及大部分的碳氢化合物等。
净化后的空气进入分馏塔冷箱中的板翅式热交换器，与返流的氧气、氮气和污氮气进行热交换，然后一部分空气从热交换器中部抽出进入透平膨胀机进行膨胀制冷，膨胀后的低温空气部分进入上塔，另一部分旁通进入污氮管道；其余空气从板翅式热交换器底部抽出，经节流后送入下塔参加精馏。
在下塔中，空气被初步分离。顶部为纯氮气，底部为富氧液空。富氧液空从下塔底部抽出，经过冷器过冷后送入上塔中部。下塔顶部的氮气被冷凝蒸发器冷凝为液氮后，一部分回下塔，作为下塔的回流液；另一部分经过冷器过冷后，节流进入上塔顶部，作为上塔精馏段的回流液。
经过上塔精馏，*终在上塔下部得到纯氧气。氧气经过换热器复热后作为产品气排出分馏塔外，被送入气囊，再经氧压机压缩，充瓶或另作它用。
氮气从上塔顶部抽出，经液氮液空过冷器、热交换器复热后，排出分馏塔外，经工艺管线送往用户或由氮气压缩机增压后灌入钢瓶销售。
污氮气从上塔污氮口抽出，经热交换器复热后，部分作为纯化器再生气，其余放空。广州市花都区柏林气体供应站主要经营：氩气、氧气、氮气、氢气、氦气、二氧化碳、乙炔、混合气等工业气体；
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