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本公司生产的真空镀膜电源（真空蒸发镀膜电源和真空溅射镀膜电源）
有以下特点：1、恒压，恒功率
2、抑制靶材弧光放电及抗短路功能, 具有极佳的负载匹配能力。
3、工艺重复性好。
4、提高成膜速度， 实现高质量的溅射膜层。
• 技术参数
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品名 真空镀膜电源
型号 SPWM系列
输入 相数 单相或三相
电压 220/380V
频率 50Hz
输入方式 4线（含地线）
输出 波形 直线
功率 30KW /60KW /100KW（可定制）
电压 0—1200V（可定制）
稳定度 ≤1%
电流 0—200A（可定制）
稳定度 ≤1%
纹波及杂讯 ≤5%或≤3%
效率 ≥90%
控制 功率 可选择
电压 恒压控制，可本地控制也可通过0-10V或4-20mA
电流 可选择
保护 具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能
冷却 风冷
外型 外壳
尺寸(W*D*H) 482.6mm*600mm*266.7mm（30KW）
重量 30KG（30KW）
备注
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• 开关电源特点
• 体积小，重量轻，效率高，节能效果显著。功率因子高，对电网污染小。输出纹波小。输出电压，电流独立可调，恒压，恒流自动转换。
• 真空镀膜应用领域
• 真空镀膜行业不同于以往的电镀行业，属于物理方式的表面处理行业。广泛用于各种金属及非金属镀膜装置，涂镀光元件、微电子元件、磁性元件、钟表、种类装饰材料、体育用品、精密工模具、薄膜包装等镀膜制品，以及应用于现代工业、航空航天航海等军事领域的镀耐蚀膜、耐磨损膜、固体润滑膜装置。 本公司自主研发生产的真空镀膜电源，成功地运用了优异的脉宽调制技术（PWM），引进三菱、富士等国外*先进的IGBT核心执行元件，大功率机器采用结构均流技术，并配以各种完善的保护功能，使得高频开关电源可靠性问题得到了圆满解决，满足低纹波要求，且体积小、重量轻、节能环保，是一种性价比*优异的直流电源产品，也是可控硅整流电源的替代品。
电源类型
三相桥式整流 六相双反星形整流 高频开关直流电源
体积 一般 较大 较小
功率因数 随导通角变化
0.5-0.9 随导通角变化
0.5-0.9 始终≥0.92
电源效率
0.86左右 0.88左右 ≥0.92
谐波含量 较大（导通角小时较大） 一般（导通角小时较大） 较小（功率大小基本不变）
节能效果 无 一般 较好
噪音 一般 较大 无
成本 一般 比较高 比较高 |
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