真空光学测量炉
事光测实验力学方法、实验技术和工程应用研究工作，近二十年来主要从事以激
光技术和近代光学为主要手段的现代光测力学实验研 究工作：
1, 光弹性法:研究和发展全息光弹性法、激光散光光弹性法、光弹性贴片法;
2, 云纹干涉法:在实验理论、方法、实验技术以及细观力学、材料科学、残余应力
、微电子封装以及高温和现场测量中的应用取得全面 系统的进展：
3, 采用独创的旋转扩展点光源全息干涉系统制作频率从600线/mm至10000线/mm的高
灵敏度全息云纹光栅，使云纹干涉法测量灵敏度提 高到新水平;
4, 纳米云纹法:用电子显微镜、原子力显微镜测量晶体材料的纳观力学行为.
5, 三维多功能云纹干涉仪研制
在研项目科学内容
为适应材料科学、微力电系统、微电子封装等科技发展的需要,当前重点从事从 微
米、亚微米到纳米尺度范围的变形场和力学行为测量 方法、技术和设备的研究,实现实
验手段在不同空间尺度的分辨率和灵敏度的贯通,并实现从宏观到纳观多层次力学行为和
力学参量的测 量.
※应用领域：
CNT生产的真空光学测量炉广泛应用于材 料科学、微电子、光电子等领域进行光学观察和测量的重要设备。
※产品描述：
CNT公司生产的真空光学测量炉主要由全真空专用不锈钢腔体，分子泵高真空系统，，独立气体调节系统，冷却循环水辅助设备等组成。整机结构紧凑、操作方便、抽真空速度快。此设备控制系统采用逻辑按钮手动控制与工控机自控控制可选。
※技术指标：
参 数 名 称 单 位 配置
加热系统 电阻或RF感应加热，带加温和匀气系统
工 作 温 度 ℃ 100~1000℃
观察区尺寸 (φ×H)mm 1英寸、二英寸、三英寸、四英寸
工作载荷 T 1-4T
控 温 精 度 ℃ ±1
极限真空 pa 6.67×10-3
密封系统 磁流体密封
水冷、气路系统 冷却水循环机、无噪声气泵
报警及保护 对缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警及相应保护措施
真空系统
（选 配） 真空系列 单级机械泵、扩散泵机组、分子泵
工作腔体 不锈钢
气氛系统 浮子流量计、进口、国产质量流量计
记录装置 进口、国产无纸记录仪
备注：西尼特可根据阁下要求提供各种非标产品的设计制造，欢迎来函、来电咨询！
24小时热线：400-668-6260 18610138965 Fax:010-51418223
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