RTP快速退火炉

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RTP快速退火炉

RTP快速退火炉//RTP快速退火炉

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公　司：诺巴迪材料科技有限公司

发布时间：2016年04月26日

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详细说明

商品简述：NBD T系列高温快速热处理退火炉简称RTP。
该产品采用国际先进制造工艺，造型新颖结构合理；
目前已被各种试样实验多次验证，并已广泛用于半导体器件研发及生产等领域；

该系统主要用于：
1.可满足离子注入后的快速退火；
2.也可用于欧姆接触快速合金；
3.还可用于硅化物合金退火，氧化物生长；
4.以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。
该设备是国家专利保护产品，专利号：CN201310005931.6

RTP快速退火炉主要技术参数
型号 *高
温度 *快升温速率
℃/S 管径处理晶片加热区恒温区±2℃ 外形尺寸mm 功率重量
(内)mm 尺寸 in 长度mm 长度mm 长高深 Kg(约）
NBD-HR1200-110IT-170 1200℃ 500 103 4″ 200 120 800 540 750 AC380V15kw 4

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