INFICON B-A型皮拉尼复合真空计, BPG400, 两个真空计复合在一个小型单元中测量范围从 5 x 10-10 毫巴至大气压 (3.8 x 10-10 乇至大气压). 复合技术降低了安装,设置和集成的复杂性. 选 BPG400 用于可及的和可再现的过程, 在一个经济的真空计组件中执行基本的压强测量.
优势：
极宽的测量范围从 5 x 10-10 毫巴至大气压 (3.8 x 10-10 乇至大气压)
过程压强范围从 10-8 … 10-2 毫巴,卓越的再现性 5%
皮拉尼联锁保护 B-A型系统防止灯丝过早烧毁和来自高压强运行的过度污染
长寿命的涂敷氧化钇的铱灯丝
可选图形显示器和现场总线接口
自动高真空皮拉尼调整减少操作人员的干预
RoHS 兼容性
用途：
在半导体过程和传送室中的压强测量
工业镀膜
在低至超高真空范围内的一般真空测量和控制
技术规格
型号
灯丝 BPG400
单-涂铱氧化钇灯丝 BPG402-S
双-涂铱氧化钇灯丝 BCG450
涂铱氧化钇灯丝/电容薄膜
测量范围 5 × 10E-10至1000 mabr 5 × 10E-10至1500 mabr
精度（N2）
10E-8至10-2mbar（BPG400/BPG402-S）
10E-8至50mbar（仅BCG450）
50至950 mbar（仅BCG450）
950至1050 mbar（仅BCG450） ±15%读数 ±15%读数
±5%读数
±2%读数
重复性
10E-8至10-2mbar ±5%读数
除气
P＜7.2 × 10E-6mbar 电子轰击,至多3分钟
输出信号 电压范围：0至+10V模拟；可选RS485，Profibus-DP，DevicenNet
电源电压
直流/安培 +20至+28Vdc
0.8A
电气连接件 D-sub 15针；Profibus-DP/RS485（D-sub 9针+15针）；DeviceNet标准接头
工作温度 +0至+50℃
烘烤温度（未工作）
法兰处
延伸件
移除电子部分
80℃
150℃
150℃
防护等级 IP30
订货号：
BPG400 B-A型皮拉尼真空计 DN 40 CF-R 353-50 |
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