MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。
派瑞林是一种新型敷形涂层材料，是一种对二甲苯聚合物，它具有化学惰性，不溶于酸、碱和有机溶剂，并能抗水解剥蚀，由这种技术形成的薄膜涂层能覆盖到丝织物的棱边和缝隙内。其表面呈疏水性，对水汽和腐蚀性气体渗透性差，热稳定性好，在酸雾、霉菌、潮湿、腐蚀性等恶劣环境中有很好的隔离防护功能。派瑞林(Parylene)膜层因其生成环境温度较低、介电常数小、润滑性好、摩擦系数低、绝缘性和防腐性好等特点，在多个领域得到广泛应用。
目前传感器敏感元件直接暴露在使用环境中，缺乏防护涂层，容易受到水汽和盐雾等恶劣环境的影响，从而导致传感器敏感元件的使用寿命较短，派瑞林(Parylene)可在真空下气相沉积，其活性分子的良好穿透力能在元件内部、底部，周围形成无针孔，厚度均匀的透明绝缘涂层，给传感器敏感元件提供一个完整的防护涂层，抵御酸碱、盐雾、霉菌及各种腐蚀性气体的侵害。
另外，派瑞林涂层技术因其涂层均匀、致密、超薄，不会改变传感器的灵敏性、外观、尺寸、弹性等，近年来在传感器表面镀膜Parylene已经成为一种趋势，经Parylene镀膜防护的传感器包括汽车传感器、腐蚀环境用传感器、生物医学传感器、声学传感器、生物医学电极和植入传感器等等。Parylene对传感器的保护除了绝缘防护外，更多是用做恶劣环境防护材料，Parylene膜层能耐酸、碱和有机溶剂，对水汽和盐雾等恶劣环境有的阻隔防护能力。 |
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