真空测试腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面为50x50mm，台面**可升温到*高350℃。该腔体设计有进气口和抽真空接口和2-4芯信号真空电极，做多可选用6芯电极。使用时将需检测的器件固定在加热台上，需自行将引入腔体的信号线连接到测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电子信号。
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目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉、CVD供气系统、等离子清洗机、小型离子溅射仪、小型蒸镀仪等，主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。 |
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