国内厂家销售半导体行业用高纯电子级三氯氧磷

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公　司：深圳市旺达康科技有限公司

发布时间：2021年11月29日

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详细说明

电子级三氯氧磷
一、分子式：POCl3
二、分子量：153.35
三、理化性质:
无色透明挥发性液体，具有强烈的刺激性气味。易水解于潮湿的空气中，生成磷酸和盐酸。熔点为1.25℃，沸点为102℃，相对密度为1.675。蒸发热33.7kJ/mol。接近300℃时，仍很稳定。遇到大量水时会发生爆炸。有毒性和腐蚀性。
四、用途:
主要用于芯片的N型掺杂，是制作集成电路、太阳能电池、光纤预制棒、分离器件等的液态磷源，是芯片制程中必须的电子化学品，同时电子级三氯氧磷也是制作高纯磷酸酯的原料。

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