266nm紫外脉冲激光器
LL266-Q全固态266 nm的紫外激光器广泛用于紫外光固化，微电子，光盘雕刻，激光医疗，科学实验等
波长Wavelength (nm)
266±1
输出功率 Output Power (mW)
1-200
线宽Spectral Linewidth (nm)
<3
工作方式 Operating Mode
脉冲
单脉冲能量(μJ)
0.1~10
重复速率(kHz)
可操控的
固定重复速率，例如1k,2k,3k,4kHz,稳压激光器脉冲发射(稳定脉冲能量,峰值,持续时间和周期)。
不同的重复速率在1kHz-4kHz的范围内可以通过输入一个外部TTL信号取得。
不可操控的
在4k-10kHz范围内不确定的重复速率和激光器不稳定脉冲发射。需要高峰值能量脉冲以适合应用程序。
光斑模式
Beam Mode
横模 Transverse
Near TE00
纵模 Longitude
Multi-longitude
偏振方式 Polarization
Line polarization
偏振比Polarization Ratio
>100:1
光束质量Beam Quality (M2 factor)
<20
光束发散角Beam Divergence (full angle, mrad)
~2.0
光束直径Beam Diameter at Aperture (mm)
2.0
光束指向稳定性 Beam pointing stability（mrad）
<0.05
功率稳定性Power Stability (RMS, over 8 hours)
<5%,<10%
振幅稳定性Noise of Amplitude (P-P)/噪声值
<3%
出光孔高度 Aperture Position (mm)
25/45
激光头
Laser Head
尺寸 Dimensions (L×W×H, mm)
209 x 88x 74/204 x 78 x 63
重量 Net Weight (kg)
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