控制产品所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程就叫做苏州净化工程。经过苏州净化工程装修的房间就叫做净化车间或者洁净车间。洁净车间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。
例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。所以，苏州净化工程对类似这种空间是非常有必要的。
苏州净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高效过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，可采用亚高效过滤器代高效空气过滤器。空气过滤器的选用布置和安装方式，应符合：初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器；中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段；高效空气过滤器或亚高效过滤器宜设置在净化空气调节系统末端，高效空气过滤的安装方式应简便可靠，宜检漏和更换；中效、亚、高效过滤器宜按额定风量选用；阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一净化车间内。 |
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