：：产品描述：：
北京华旭世纪HXMF05系列气体质量流量计/控制器，采用了数字式技术，相比模拟技术，HXMF05系列产品提高了精度和数字化程度。它采用了毛细管热传感技术和热温差原理，来测量和控制气体的质量流量。由于热温差只和气体的质量流量有关，因此其测量值不受气体的温度和压力变化的影响。 HXMF05系列小流量热式质量流量产品，采用了紧凑型设计，体积小巧精致，产品坚固耐用。产品使用了线性化校正电路和EMI保护，具备安全可靠、性能稳定、低功耗、寿命长等特点。 在数据传输上，不但具备传统的有线式，还具备局域网无线传输数据，互联网远程数据监控云平台等强大功能。
：：产品特色：：
● 数字化技术，更快速的响应时间 ● 优于1%FS的高精度 ● 出色的长期稳定性 ● 可测量腐蚀性气体，坚固耐用 ● 精巧的外观设计，全面的安全保护电路及EMI ● 可配专用显示表，显示瞬时流量 ● 诸多选项：高精度、自定义量程、流量信号无线传输 远程数据监控云平台、短信报警、邮件报警等
：：典型应用：：
· 光伏及晶体制备 · 真空行业及镀膜 · 泄漏检测 · 炉窑及微反应装置 · 半导体行业 · 大学/研究所 · 分析仪器 · 气体混合配比 · 计量及计价 · 燃料电池 · 燃烧测试 · 其它气体测控场合
：：性能指标：：
介质要求：与介质兼容的气体，支持腐蚀性气体 介质种类：客户指定，也可现场更改-需咨询我们 标定工况：0℃ @ 1 atm（氮气） 测控量程：从0～5sccm到0～250slm任选,可定制更高流量范围 量程比：50:1 精度：±0.35%F.S.或±1.0%RD，取数值大者（FS-满量程 RD-读数） 重复性：±0.2%F.S. 流量分辨率：0.1%F.S. 响应时间：1.5S 阀门状态：常闭（仅控制器，流量计无阀门） 工作温度：5～45℃ 工作湿度：0～100%RH（无冷凝） 工作压差范围：流量计 0.02MPa～3MPa 控制器 0.1～0.5MPa(>10SLM为0.1～0.3MPa) *大耐压：3MPa，可选高压选项10MPa 输入输出信号：标准为RS485，可选0～5V 通讯协议：Modbus 供电电压：24VDC@250mA 电气接口：DB15pin，2XRJ45 泄漏率：≤1×10-10次方Pa·立方米 /S（He） 接液材质：316L SS 密封材料：根据气体种类由厂家选择或客户指定，包括：PTF、氟橡胶FKM、全氟橡胶FFKM、NBR、EPDM、CR、VMQ，等 管道接头：1/4〃VCR，1/8、1/4、3/8双卡套，3、6、8、10mm双卡套 外形尺寸：长×宽×高：127×30×128.5mm 产品重量：流量计0.75kg 控制器0.9kg
：：订购信息：：
· 流量计或控制器 · 气体种类 · 流量范围 · 工作温度 · 入口压力 |
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