应用领域
半导体行业 特种材料冶炼 医学行业 环保行业 食品保鲜行业 微电子工艺设备 精密浓度传感器工艺 化学化工等等…
基本参数
先进的结构，细节的优化。保证仪器准确，稳定，可靠
功能 多通道气体配比装置
基本型号 MT系列
配比范围 1PPM以上（定制）
精度（%） ±1
控制阀动作形式 长闭式
线性（%F.S） ±0.5
重复精度（%F.S） ±0.2
响应时间（sec） ≤1
设备输出信号 RS232或RS485
电器接头 DB15pin DB14pin DB9pin 接头
工作环境 5-55(℃)
工作压差 0.05-0.5MPA
漏率 1X10-7SCCMHe
zui大耐压 3MPA 10MPA
介质接触材质 304 316 316L
密封材料 氟橡胶，硅橡胶，丁晴橡胶，聚四氟乙烯，金属密封性
接头尺寸 Swagelok 1/8 , 1/4 ,3/8,或φ3，φ6，φ8 φ10 φ12
电源要求 220V, 2 |
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流量仪表
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