1： LF-F/LV-F系列质量流量控制器利用1种液体进行了流量校正 (请预先指定所使用 的液体。)
・不能检测含有固体物的液体。
・如果混合液中混合比会发生变化时，请预先进行咨询协商。
・LV-F系列质量流量控制器如果在对象液体中含有粒子等时，请在一次端(入口端) 安装0.2μm(Abs.)以下的过滤器。
*2： LF-F类型质量流量控制器根据流量量程，可以适用到 *大值， 0.1Pa•s。有关高粘度的液体请预先进行咨询协商。
*3： 以SEMI E56-1296 为准。
*4： 进行测量・控制的液体温度如果低于环境温度时，使用时请把温差控制在10℃以 内；如果高于液体温度时，使用时请把温差控制在3℃以内。
*5：这是在粘度0.001Pa・s中的F.S.流量值。
名称
质量流量计
型号
LF-F20M-A
LF-F30M-A
LF-F40M-A
LF-F50M-A
LF-F60M-A
全标度流量(g/min)
0.02/0.05/0.1
0.2/0.5
1/2/5
10/20
50/100
检测控制范围
5〜100% F.S.
对象液体种类 *1
可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。
液体粘度 *2
*大值. 0.1 Pa·s (100cp)
精度 *3
±1% F.S.
直线性 *3
±0.5% F.S.
重复性 *3
±0.5% F.S.
响应精度
3秒以内 (T98)
2秒以内 (T98)
使用环境温度 *4
5〜50℃ (15 〜 45℃精度的确保)
温度影響 Span
±0.1%F.S./℃ *大值±1%
工作差压值值 *5
*大值. 5MPa (视为流量计) / 50〜300kPa (with piezo 控制阀)
耐压
10MPa (视为流量计)
压力損失
*大值. 500Pa
流量设定信号
模拟：0.25〜5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式：RS485(F-Net通信协议)
流量输出信号
模拟：0〜5 VDC(*小负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议)
驱动电源
+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏规格
5×10-12Pa·m3/s (He)
接液部材质
SUS316L, Ni
标准接头
1/16” ， 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型
1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型
1/4” SWL类型 1/4” VCR 类型
名称
质量流量控制器
型号
LV-F20 (PO/MO)
LV-F30 (PO/MO)
LV-F40 (PO/MO)
LV-F50 (PO/MO)
LV-F60 (PO/MO)
全标度流量(g/min)
0.02/0.05/0.1
0.2/0.5
1/2/5
10/20
50/100
检测控制范围
5〜100% F.S.
对象液体种类 *1
可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。
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