NanoPWM驱动器-代替线性驱动器
利用ACS所有的NanoPWM技术，产品线PWM驱动器提供的终极的静止抖动和平滑的速度性能，相较于经典的商业上可用的线性驱动器。
ACS的NanoPWM驱动器提供*好的运动性能（保证的），减小安装尺寸，减少热耗散，和经济的价格。NanoPWM驱动器是*终极驱动器用于450MM和300MM晶圆制程平台，也可以用于其他需要以平滑的速度和亚纳米级抖动的高速度和加速度的伺服控制应用。
用一个Spilplus的控制器和NanoPWM驱动器控制一个直线平台，可以达到下面的性能：
*静止抖动好于0.3纳米（机械平台）
*跟随误差在速度100MM/秒时为10纳米（气浮平台）
纳米定位和高速度
当需要高速度，纳米定位的分辨率时，OEM厂家至今局限于昂贵的激光干涉仪反馈系统，用ACS的10MHZSpilplusSin-Cos编码器差分器，控制系统设计师现在有了经济的替换方案，用模拟量光学编码器或者激光原理的超快编码器就够用了。
*精确和柔性的龙门控制
对于高精度龙门定位平台，有两个电机（每个有自己的反馈）被用来控制一个轴。ACS运动控制已经开发了独特和有力的算法提供前所未有水准的定位精确度，速度稳定性，和整定时间。
龙门算法主要特征： 优势：
*带解耦环的MIMO控制 *更高的带宽
*纵向伺服环控制 *更好的稳定性
*旋转（偏摆）方向伺服环控制 **小的轴相互干扰
*自动力/编码器调度作为横梁轴位置的函数 *调试简单
*偏摆角的动态补偿 *可靠的操作
*刚性龙门和柔性龙门都适合 |
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