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FFU是风机和过滤器的组合，也可称为“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端，一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块，下面部分为过滤器。根据洁净度的要求，过滤器可为不同等级的高效（HEPA）或超高效（ULPA）过滤器，为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力，还要克服整个循环风所有通道部件的阻力，从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便，风速调节灵活，洁净区易于变更等特点，因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一
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该机组设计整体灵活，便于与专用型吊顶骨架以及其他一些合适的骨架配合使用。当过滤器采用刀边型框架时，这种机组也可用于液槽密封吊顶骨架，根据设计的规格，他可轻而易举配合任何吊顶骨架，达到洁净等级要求。外框可选用铝质或不锈钢，各具特色。采用这种机组，可以为洁净室输送高质量的空气，而且空气流通好。它适合用于半导体、电子、平板显示器和磁盘驱动器的厂家及光学、生物工业及其他对空气中污染有严格控制要求的地方。
一般万级无尘室所用的高效过滤器，它能对空气中粒径为0.3um的微粒子过滤效率达到99.99%，出风风速0.4m/s，*大不能有超过20KG以上的外力作用于过滤器上，以免破坏过滤器组织架构。
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FFU具有特点
*一：灵活性。
因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。
第二：可再利用性。
从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三：负压通风。
这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里，使得密封变得很简单而且安全。
第四：缩短建设周期。
使用FFU省掉了风管的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。
第五：减少运行成本。
虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。 |
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